MEMS MODULE 微机电系统模块

MEMS模块应用于微观世界各种物理现象的仿真， MEMS的自然属性决定了它的大多数应用模型是多物理场问题，通常包含有电磁-结构、热-结构、流体-固体（FSI）、电磁-流体等。MEMS模块为您整合丰富的资源，您只需选取相对应的物理方程即可轻松实现各种复杂现象的直接耦合模拟计算。

应用实例

• 加速度计
• 执行器
• 悬臂梁和其它开关
• 生物医学传感器
• DNA芯片、片上实验室
• 微通道中流固耦合
• 微通道中两相流
• 喷墨
• MEMS声换能器
• MEMS电容器
• MEMS热传感器
• 微反应器、微泵、微混合器
• 微波传感器
• MOEMS、VCSELS
• 压电、压阻器件
• 射频MEMS器件
• 传感器
• 声表面波传感器和滤波器

MEMS电梳的模拟结果，以颜色显示电场分布，而

“梳子”本身的位移则表现为几何形状的变化。

电动力驱动药物分子在毛细管道内对流传送至管壁与

检测物进行反应。此模型用到静电、热传导、

Navier-Stokes等五个方程进行耦合计算。

常用于MEMS生物芯片上的电渗泵，通过对输出端的压强

进行参数分析来研究电解质在泵体内流动状况。

利用lift-off工艺降温后的残余应力使得结构发生扭曲

从而获得MEMS微镜，此模型开启了大变形功能并设置了

初始应力。

喷墨打印机中，墨滴在空气中的运动